Введение
1 Анализ и обобщение результатов испытаний сверхбольших интегральных схем 10
1.1 Анализ и обобщение результатов испытаний сверхбольших интегральных схем на безотказность, наработку до отказа и электротермотренировку 10
1.2 Возможные методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральных схем
1.2.1 Методы расчетно-экспериментального прогнозирования надежности на этапе разработки 20
1.2.2 Оценка надежности микросхем методом физико-технической экспертизы 21
1.2.3 Оценка надежности по моделям механизмов отказов 22
1.2.4 Оценка интенсивности отказов по результатам испытаний. 24
1.2.5 Методы контроля качества и надежности микросхем путем анализа элементного состава характеристик материалов и микросхем 27
1.2.6 Прогнозирование показателей надежности на основе ускоренных испытаний тестовых структур 31
1.2.7 Прогнозирование интенсивности отказов сверхбольших интегральных схем по результатам электротермотренировки 37
Выводы
2 Виды и причины отказов сверхбольших интегральных схем. методы проведения испытаний 41
2.1 Виды и причины отказов сверхбольших интегральных схем 41
2.2 Методы проведения испытаний для определения энергии активации
2.2.1 Определение значения энергии активации по накопленным данным 52
2.2.2 Определение значения энергии активации по результатам испытаний со случайно возрастающей нагрузкой 53
2.2.3 Определение значения энергии активации по результатам электротермотренировки 55
2.2.4 Определение значения энергии активации на основе параллельных выборок в различных режимах 57
Выводы 61
3 Экспериментальные исследования по определению энергии активации 62
3.1 Методики проведения форсированных ступенчатых испытаний сверхбольших интегральных схем 62
3.2 Результаты испытаний сверхбольших интегральных схем
3.2.1 Анализ деградации электрических параметров сверхбольших интегральных схем в процессе испытаний 65
3.2.2 Определение энергий активации механизмов отказов сверхбольших интегральных схем 73
Выводы 79
4 Метод ускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказа 80
4.1 Определение коэффициента ускорения отказов сверхбольших интегральных схем 80
4.2 Определение границ области допустимого форсирования 84
4.3 Определение констант ускорения пи аъ моделях коэффициента ускорения от тока и напряжения 86
4.4 Определение энергии активации на основе параллельных испытаний выборок в различных режимах 88
4.5 Примеры ускоренных испытаний на наработку до отказа 92
Выводы 96
Заключение 98
Список литературы
