Введение
ГЛАВА 1. Дефекты структуры кристаллических материалов и методы их исследования (обзор литературы) 12
1.1 Дефекты кристаллической структуры (общая характеристика и основная классификация) 12
1.2 Дефекты структуры и оптические аномалии в кристаллах парателлурита и германия 17
1.3 Механизмы образования и особенности пространственного распределения
дислокаций
1.4 Методы исследования дефектов кристаллической структуры
1.4.1 Избирательное травление
1.4.2 Декорирование .
1.4.3 Рентгеновская дифракционная топография
1.4.4 Просвечивающая электронная микроскопия (ТЕМ)
1.4.5 Атомно-силовая микроскопия.
1.4.6 Метод фотоупругости .
1.4.7 Контроль внутренних напряжений .
1.4.8 Малоугловое рассеяние лазерного излучения (LALS)
1.5 Основные характеристики и области применения оптических кристаллов
германия и парателлурита .
1.6 Выращивание монокристаллов германия и парателлурита
ГЛАВА 2. Методика эксперимента
2.1 Исследуемые образцы .
2.1.1 Монокристаллы германия .
2.1.1.1 Выращивание методом Чохральского
2.1.1.2 Выращивание методом направленной кристаллизации
2.1.2 Монокристаллы парателлурита
2.1.3 Определение ориентации кристаллов
2.2 Методики структурных исследований 42
2.2.1 Оптическая микроскопия 60
2.2.2 Инфракрасная микроскопия 62
2.2.3 Интерференционная профилометрия 63
2.2.4 Растровая электронная микроскопия 66
2.2.5 Просвечивающая электронная микроскопия 68
2.2.6 Селективное травление
2.2.6.1 Германий 71
2.2.6.2 Парателлурит 74
ГЛАВА 3. Микроморфология поверхности крупногабаритных монокристаллов Германия 76
3.1 Дефектная структура кристаллов германия 76
3.1.1 Объемные дефекты 76
3.1.2 Бороздчатая структура поверхности 79
3.1.3 Морфология ямок травления граней (111), (ПО), (100) 88
3.2. Исследования микроструктуры на просвечивающем электронном микроскопе 99
ГЛАВА 4. Микроморфология поверхности кристаллов парателлурита 102
4.1 .Морфология ямок травления граней (ПО) и (001) 102
4.2 Поляризационно-оптический анализ внутренних напряжений и структуры дислокаций 108
4.3 Секториальное распределение дефектов структуры 120
4.4 Кристалломорфологический анализ и индексация граней монокристаллов, выращенных в направлении [110] 123
4.5 Фотолитографическое микроструктурирование поверхности кристаллов парателлурита 130
Заключение 133
Список литературы 138
