Введение
1 Литературный обзор и основные теоретические положения 7
1.1 Теория Дарвина 7
1.2 Метод Такаги-Топена 9
1.3 Трехосевая дифрактометрия 15
1.3.1 Основные уравнения теории трехосевой рентгеновской дифракции 22
1.4 Дифракция на фазовой решетке 31
2 Динамическая дифракция на латеральных структурах 36
2.1 Метод Такаги-Топена 36
2.1.1 Введение 36
2.1.2 Основные уравнения 37
2.1.3 Численное решение на разностной сетке 39
2.1.4 Использование преобразования Лапласа 40
2.1.5 Кинематическое приближение 42
2.1.6 Результаты расчетов 44
2.2 Метод Дарвина 48
2.2.1 Введение 48
2.2.2 Дифракция на плоскопараллельном кристалле 51
2.2.3 Дифракция Дарвина на кристалле прямоугольного сечения
2.2.4 Численное моделирование 59
2.3 Дифракция на кристалле с металлической поверхностной решеткой 66
2.3.1 Введение 66
2.3.2 Теория 66
2.3.3 Численное моделирование 69
3 Кинематическая теория дифракции на латеральных структурах 72
3.1 Кинематическая теория дифракции на неидеальных струк турах 72
3.1.1 Основные уравнения 72
3.1.2 Когерентное рассеяние 75
3.1.3 Диффузное рассеяние 79
3.1.4 Численное моделирование 81
Заключение 87
Литература
