Введение
ГЛАВА 1. Электронно-стимулированная адсорбция кислорода на поверхности металлов и полупроводников .. 10
1.1. Экспериментальные методы изучения ЭСА 10
1.2. Результаты экспериментальных исследований электронно-стимулированной адсорбции 12
1.3. Механизмы электронно-стимулированной адсорбции 25
ГЛАВА 2. Методы исследования поверхности, экспериментальная техника, приготовление образцов 27
2.1. Методы исследования поверхности 27
2.2. Комбинированная установка для комплексной диагностики поверхности методами электронной оже-спектроскопии и спектроскопии характеристических потерь энергий электронов 30
2.2.1. Автоматизация комбинированного ЭОС/СХПЭЭ-спектрометра 34
2.2.2. Программное обеспечение автоматизированного ЭОС/СХПЭЭ - спектрометра 35
2.3. Сканирующий зондовый микроскоп (C3MJ Интегра Аура (НТМ ДТ) 37
2.4. Приготовление образцов для исследований 39
ГЛАВА 3. Влияние остаточной газовой среды, миграционных процессов и электронного зонда спектрометра на адсорбционные процессы, происходящие на поверхности изученных металлов 40
3.1. Состояние поверхности А1, In, ТІ, Sn, Pb в сверхвысоком вакууме 40
3.1.1. Миграционные процессы и влияние электронного зонда на атомарно-чистую поверхность А1 40
3.1.2. Влияние остаточной газовой среды на состояние поверхности индия 44
3.1.3 Миграционные процессы на атомарно-чистой поверхности ТІ 50
3.1.4. Кинетика адсорбции углеродсодержащих соединений на поверхности олова 51
3.1.5. Получение атомарно-чистой поверхности свинца 53
3.2. Влияния внешних воздействий на адсорбционные процессы на поверхности изученных металлов 54
3.2.1. Эффекты, возникающие при бомбардировке поверхности поликристаллического алюминия ионами аргона 54
3.2.2. Электронно-стимулированная адсорбция углеродсодержащих соединений на поверхности Sn 60
3.2.3. Электронно-стимулированное окисление In из остаточной газовой среды 66
ГЛАВА 4. Электронно-стимулированная адсорбция кислорода на поверхности металлов III и IV групп 72
4.1. Оже-спектроскопия электронно-стимулированной адсорбции кислорода на поверхности поликристаллического алюминия 72
4.2. Исследование ЭСА кислорода на поверхности In 75
4.3. Кинетика электронно-стимулированного роста концентрации кислорода и образование наноструктурных пленок оксида ТІ 80
4.4. Электронно-стимулированная адсорбция кислорода на поверхности Sn 86
4.5. Электронно-стимулированное окисление свинца в зависимости от экспозиции в среде кислорода при парциальном давлении кислорода 110"4 Па 94
Заключение 100
Список сокращений и условных обозначений 102
Библиографический список
