Введение
1. Современное состояние многоканальных устройств предварительной обработки сигналов фпу и методов их проектирования 6
2. Статистические характеристики микроэлектронных устройств (МЭУ), изготавливаемых по интегральной технологии и разработка статистической модели МЭУ ... 18
2.1. Структурное представление погрешностей элементов МЭУ 18
2.2. Обобщенная статистическая модель МЭУ 27
2.3. Влияние этапов проектирования на статистические характеристики МЭУ 34
2.4. Выводы по главе 41
3. Методы проектирования, оптимизации характеристик и технологии изготовления МЭУ 42
3.1. Метод оптимизации функциональной структуры МЭУ 42
3.2. Методы оптимизации конструктивно-технологических параметров тонкопленочных элементов МЭУ 50
3.3. Технологические методы повышения точности и воспроизводимости параметров МЭУ
3.3.1. Метод повышения равномерности распределения толщины тонких резистивных пленок
3.3.2. Формирование геометрических размеров тонкопленочных структур методом ионно-плазменного травления 61
3.3.3. Групповая подгонка комплексов тонкопленочных резисторов 65
3.4. Выводы по главе 75
4. Разработка многоканального устройства предварительной обработки сигналов для многоэлементного ФПУ ИК диапазона 77
4.1. Алгоритм обработки и функциональная структура УПОС для ФПУ на основе фоторезисторов из твердых растворов КРТ 78
4.2. Особенности схемотехнической реализации основных функциональных узлов УПОС 87
4.2.1 Входные каскады канальной части УПОС 87
4.2.2. Фильтр нижних частот 87
4.2.3 Усилитель с автоматической калибровкой 91
4.2.4. Коммутатор аналоговых сигналов 93
4.2.5 Конструктивно-технологическая реализация основных функциональных узлов УПОС 94
4.3. Многоканальные малошумящие модули преду силителей для ФПУ ИК диапазона 96
4.4. Выводы по главе 109
Заключение
Список литературы 112
Приложения
