Введение
1. Обзор литературы 19
1.1 Многоострийные системы Спиндта на основе металлических острий 19
1.2 Эмиттеры на основе углеродных нанотрубок (УНТ) 23
1.3 Полупроводниковые полевые эмиттеры 34
1.4 Матричные полевые эмиттеры из стеклоуглерода 37
1.5 Электронные пушки с защитой от ионной бомбардировки 39
1.6 Полевые эмиттеры с защитным фуллереновым покрытием 41
1.7 Заключение и постановка задачи 46
2. Методы исследований 49
2.1 Методика экспериментальных исследований и аппаратура 49
2.1.1 Объекты исследования 49
2.1.2 Экспериментальная вакуумная установка 57
2.1.3 Системы, использованные для создания и контроля характеристик покрытий 62
2.2 Использованные методы расчёта 70
2.2.1 Использование программы SRIM для расчёта явлений при ионной бомбардировке металл-фуллереновых покрытий 70
2.2.2 Использование программы COMSOL для расчёта характеристик многоострийных структур 71
3. Результаты исследования многоострийных полевых эмиттеров 74
3.1 Расчёт характеристик многоострийных систем 74
3.1.1 Влияние морфологии поверхности на эмиссионные характеристики многоострийных систем 74
3.1.2 Расчёт явлений при ионной бомбардировке металл-фуллереновых покрытий 84
3.1.3 Важнейшие результаты раздела 3.1 з
3.2 Экспериментальные исследования катодов малой площади (КМП) 88
3.2.1 Исследование КМП из кремния 88
3.2.2 Многоострийные эмиттеры из молибдена 99
3.2.3 Важнейшие результаты раздела 3.2 102
3.3 Экспериментальное исследование катодов большой площади (КБП) 104
3.3.1 Введение 104
3.3.2 Эмитерры с активированным фуллереновым покрытием 105
3.3.3 Эмиттеры с неактивированным фуллереновым покрытием 115
3.3.4 Важнейшие результаты раздела 3.3 118
Заключение 119
Список сокращений и условных обозначений 122
Список литературы 124
