Введение
Глава 1. Анализ процесса осаждения гальванического покрытия, факторов, оказывающих влияние на качество, способов улучшения равномерности и постановка задачи работы 13
1.1 Общие сведения о процессе нанесения гальванического покрытия 13
1.2 Показатели качества гальванического покрытия 14
1.3 Анализ факторов, оказывающих влияние на качество покрытия 16
1.3.1 Влияние геометрических факторов и межэлектродного расстояния на равномерность толщины ГП 16
1.3.2 Влияние электрохимических факторов на равномерность распределения толщины покрытия 18
1.4 Обзор способов управления равномерностью гальванического покрытия 22
1.5 Процесс нанесения гальванического покрытия как объект автоматизированного управления 27
1.6 Постановка задачи оптимального управления процессом нанесения гальванического покрытия 29
1.7 Постановка цели и задач 30
Выводы по главе 1 31
Глава 2. Математическое моделирование гальванического процесса в многоанодной ванне с управлением межэлектродным расстоянием и интенсивностью перемешивания электролита 33
2.1 Разработка математической модели процесса нанесения гальванического покрытия 34
2.2 Проверка адекватности математической модели 43
2.3 Исследования зависимости равномерности и скорости осаждения покрытия от параметров процесса 51
Выводы по главе 2 65
Глава 3. Многопараметрическая оптимизация управления процессом нанесения гальванического покрытия 66
3.1 Обзор и анализ методов решения задачи оптимального управления 67
3.2 Сравнительный анализ методов решения задачи оптимального управления 87
3.4 Динамическое исследование процесса нанесения ГП 89
3.3 Исследование эффективности применения предложенного способа управления процессом нанесения гальванического покрытия 92
Выводы по главе 3 96
Глава 4. Разработка подсистем АСУ ТП нанесения гальванического покрытия 97
4.1. Разработка структурной схемы системы оптимального управления параметрами процесса нанесения гальванического покрытия 97
4.2. Структура и состав подсистемы АСУ ТП нанесения гальванического покрытия 99
4.3. Принцип работы подсистемы АСУ ТП нанесения гальванического покрытия 102
4.4 Разработка алгоритма работы АСУ ТП нанесения гальванического покрытия 106
4.5. Разработка программного обеспечения АСУ ТП нанесения гальванического покрытия 108
Выводы по главе 4 113
Основные выводы и результаты 114
Список сокращений и условных обозначений 116
Список использованных источников 119
Приложение А Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ 131
Приложение Б. Акт внедрения результатов диссертационной работы 132
