Введение
1 Обзор литературы по теме диссертации 10
1.1 Введение 10
1.2 Анализ микро- и наноструктур рентгеновскими методами 12
1.2.1 Угловая зависимость коэффициента зеркального отражения 12
1.2.2 Особенности использования двухволновой рентгеновской рефлектометрии 22
1.2.3 Рассеяние рентгеновского излучения 24
1.2.4 Расчет параметров многослойных структур 28
1.2.5 Расчет коэффициента отражения рентгеновского излучения 31
1.2.6 Генетический алгоритм поиска глобального минимума функционала невязки 38
1.3 Фрактальный метод исследования упорядоченности самоорганизованных микро-и наноструктур 42
1.3.1 Упорядоченные структуры на поверхности 42
1.3.2 Степень упорядочения 44
1.3.3 Фрактальная размерность 45
1.4 Заключение 52
2 Исследование параметров тонких пленок металлов и силицидов 54
2.1 Методика эксперимента 54
2.1.1 Подготовка экспериментальных образцов 55
2.2 Расчет параметров слоев никеля и силицидов никеля 56
2.2.1 Параметры структуры Ni на подложке SiOx 56
2.2.2 Параметры структуры Ni на подложке Si 62
2.2.3 Параметры структуры NiSi на подложке Si 63
2.2.4 Параметры структуры NiSi2 на подложке Si 68
2.3 Исследование параметров дискретных структур на поверхности подложек Si 69
2.4 Исследование параметров кремния, имплантированного фтором 77
2.5 Основные результаты и выводы 81
3 Исследование параметров многослойных структур методом двухволновой рентгеновской рефлектометрии 83
3.1 Методика эксперимента 83
3.1.1 Подготовка экспериментальных образцов 83
3.2 Расчет параметров многослойных рентгеновских зеркал 85
3.2.1 Параметры многослойной структуры Mo/Si 85
3.2.2 Параметры многослойной структуры C^/C-sp 89
3.2.3 Параметры многослойной структуры Ti/ZnTe 95
3.3 Основные результаты и выводы 99
4 Фрактальный анализ упорядоченности поверхностных микроструктур 101
Заключение 110
Благодарности 113
Литература 114
