Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе

Шумилов Андрей Станиславович. Моделирование формирования глубоких канавок в кремнии в Bosch-процессе : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Шумилов Андрей Станиславович; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2009.- 178 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/175
Автор
Шумилов Андрей Станиславович
Год
2009

  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

Влияние сверхкоротких импульсов электромагнитного излучения на электрические параметры биполярных и полевых структур
99 000 UZS
Автор
Левченко Виктор Николаевич
Количество страниц
Год
2008
Разработка основ лазерно- и магнитостимулированной технологии электроосаждения Ni/Bi2Te3 контактов термоэлементов Пельтье
99 000 UZS
Автор
Веприков Владимир Иванович
Количество страниц
Год
2008
Исследование и разработка широкополосных акустооптических дефлекторов с поверхностным возбуждением ультразвука для измерителей параметров СВЧ-радиосигналов
99 000 UZS
Автор
Пелипенко Михаил Иванович
Количество страниц
Год
2008
Исследование и создание гибридно-монолитных СВЧ - генераторов и преобразователей частоты на универсальных активных GaAs МИС в диапазоне частот 1...18 ГГЦ
99 000 UZS
Автор
Богданов, Юрий Михайлович
Количество страниц
Год
2007
Плёнки BaxSr1-xTiO3 и структуры на их основе для перестраиваемых устройств СВЧ диапазона
99 000 UZS
Автор
Гагарин Александр Геннадиевич
Количество страниц
Год
2007
Новостной блок
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3