Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках
Нагель, Михаил Юрьевич. Моделирование формирования структур осаждаемых пленок и образования пыли в плазменных установках : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Нагель Михаил Юрьевич; [Место защиты: Нац. исслед. центр "Курчатовский институт"].- Москва, 2013.- 116 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/703
