Введение
1 Обзор некоторых типов микродетекторов ТГц излучения, работающих при комнатной температуре 10
1.1 Микроболометры 11
1.2 Диоды Шоттки 12
1.3 Детекторы на основе полевых транзисторов с высокой подвижностью электронов 15
1.4 Выводы 17
2 Микроэлектромеханические детекторы модулированного терагерце вого излучения 19
2.1 Моделирование и расчет параметров МЭМ-детекторов 22
2.2 Чувствительность МЭМ-детекторов 26
2.3 Параметрическая неустойчивость в МЭМ-детекторах 29
2.4 Выводы 38
3 Расчет сосредоточенных параметров распределенных резонаторов, описываемых локальными уравнениями 39
3.1 Пример получения уравнения колебаний эффективного элементарного осциллятора 40
3.2 Случай волноведущих систем, описывающихся локальными уравнениями 44
3.3 Описание механических резонаторов в терминах сосредоточенных параметров 46
3.4 Выводы 52
4 Примеры резонаторов, описываемых нелокальными уравнениями и их сведение к элементарным осцилляторам 53
4.1 Дисперсионные свойства плазменных волн в некоторых двумерных и (квази-)одномерных электронных системах 55
4.2 Колебания электронной плазмы в полевом транзисторе с высокой подвижностью электронов и цилиндрическим затворным электродом 64
4.3 Вынужденные плазменные колебания в отрезке из одностенной углеродной нанотрубки с металлической проводимостью 72
4.4 Выводы 77
5 Пример расчета характеристик наноэлектромеханического детектора модулированного терагерцевого излучения 78
5.1 Решение задачи о возбуждении плазменных колебаний в детекторе 81
5.2 Получение уравнения колебаний элементарного осциллятора, соответствующего плазменному резонатору 83
5.3 Получение уравнения колебаний элементарного осциллятора, соответствующего механическому резонатору 84
5.4 Вычисление изменения основной частоты плазменного резонанса при малой деформации нанотрубок 85
5.5 Вычисление порога параметрической неустойчивости 87
5.6 Вычисление электрической ёмкости двух нанотрубок при их малой деформации 88
5.7 Результаты вычислений характеристик детектора 89
5.8 Выводы 96
Заключение 98
Использованные источники
