Моделирование процесса ионно-лучевой обработки структуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения
Остапенко Наталья Александровна. Моделирование процесса ионно-лучевой обработки структуры металл-кремний и ее электронного энергетического строения : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 : Таганрог, 2004 193 c. РГБ ОД, 61:04-5/3429