Введение
1. обоснование актуальности темы и задач исследования 8
1.1. Обзор конструкций и принципа построения микромеханических приборов 1 1
1.2. Обзор технологий изготовления микромеханических приборов 15
1.3. Применение микромеханических приборов 26
1.4 Упругие чувствительные элементы микромеханических приборов 32
1.5. Задачи теории надежности 36
Выводы 46
2. Линейные деформируемые системы 47
2.1. Канонические уравнения метода сил 47
2.2. Расчет напряженно-деформированного состояния упругих чувствительных элементов 49
Выводы 54
3. Нелинейные задачи изгиба стержней 56
3.1. Точное уравнение равновесия упругой линии 58
3.2. Консервативное нагружение 66
3.3. Неконсервативное нагружение 69
Выводы 72
4. Динамика упругих чувствительных элементов микромеханических приборов 73
4.1. Решение дифференциального уравнения изгибных колебаний стержней 73
4.2. Методика расчета максимальных напряжений и амплитуд на частотах, близких к резонансным 76
Выводы 82
5. Надежность упругих чувствительных элементов микромеханических приборов 83
5.1. Напряжения, переменные во времени. Усталость 83
5.2. Предел выносливости 86
5.3. Расчет циклической долговечности 89
5.3.1. Интенсивность отказов 91
5.3.2. Характер дрейфа функций плотности вероятности 94
5.3.3.Алгоритм оценки долговечности 96
Выводы 102
Заключение 103
Список использованной литературы 105
