Введение
Глава 1. Физические процессы модифицирования поверхности низ- 9 коэнергетическим ионным облучением перед нанесением тонких пленок. Основные теории и модели
1.1. Процессы модифицирования поверхности ионной бомбардиров - 9
кой и нанесением покрытий. Методы повышения адгезии тонких пленок к подложкам
1.2. Основные физические процессы, происходящие при ионной 34 бомбардировке
1.3. Основные физические модели процессов ионного распыления и 45 имплантации. Методы компьютерного моделирования взаимодействия ион - твердое тело
Выводы к главе 1
Глава 2. Моделирование и экспериментальное исследование зависимостей коэффициента распыления поверхности стали ионами аргона, азота, воздуха, титана и алюминия от энергииионов
2.1. Образование переходного слоя на границе покрытие - подложка 75
2.2. Оценочные расчеты коэффициентов распыления в зависимости 78 от энергии ионов, основанные на основных положениях теории распыления Зигмунда
2.3. Компьютерное моделирование процессов распыления и образо- 86 вания радиационных дефектов в результате ионной бомбардировки
2.4. Зависимость коэффициента распыления поверхности стали 90
Выводы к главе 2
Глава 3. Экспериментальное исследование состава дефектного слоя 95 на поверхности стальной подложки и глубины внедрения ионов титана и алюминия при ионном облучении с помощью Ожеспектроскопии
Выводы к главе 3 102
Глава 4. Моделирование радиационно-стимулированной диффузии, 104 учитывающей влияние колебательных возбуждений атомов, вызванных ионным облучением, на коэффициенты диффузии
Выводы к главе 4
Гдава 5. Экспериментальное исследование износостойкости углеродного покрытия в зависимости от дозы ионного облучения
5.1. Результаты экспериментальных исследований износостойкости углеродного покрытия в зависимости от дозы ионного облучения
5.2. Кинетическая модель изнашивания, учитывающая микромеханику разрушения материалов, термоактивируемые кинетические процессы и процессы образования радиационных дефектов при ионном облучении
122 Выводы к главе 5
125
