Введение
Глава 1. Анализ электрофизических свойств пленки ПЭТФ, ионно-плазменных способов получения нанослоев на основе углерода и процессов электризации пленки под воздействием частиц газоразрядной плазмы 11
1.1. Пленка ПЭТФ - ее свойства и применение в качестве материала электронной техники 11
1.2. Покрытия на основе углерода. Структура и ионно-плазменные способы получения 19
1.3. Образование электретного состояния в пленке ПЭТФ под действием потоков заряженных частиц 33
1.4. Постановка задачи 40
Глава 2. Объекты и методы исследования 42
2.1. Объекты исследования и способы их получения 42
2.1.1. Получение наноразмерного покрытия на основе углерода на поверхности пленки ПЭТФ 45
2.2. Методы исследования химического состава, структуры и электрофизических свойств пленки ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода, сформированным на ее поверхности 48
2.3. Выводы по главе 2 61
Глава 3. Исследование электрофизических свойств пленки ПЭТФ, модифицированной осаждением наноразмерных покрытий на основе углерода 62
3.1. Модификация поверхности пленки ПЭТФ под воздействием пучка положительных ионов 62
3.2. Исследование состава и структуры наноразмерного покрытия на основе углерода, полученного из циклогексана 72
3.3. Влияние наноразмерного покрытия на основе углерода на электрофизические свойства ПЭТФ 78
3.4. Образование электретного состояния в пленке ПЭТФ под воздействием ионных пучков и в процессе осаждения наноразмерного покрытия на основе углерода 102
3.5. Выводы по главе 3 110
Глава 4. Применение пленки ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода в приборах электронной техники 113
4.1. Использование пленки ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода в качестве диэлектрического материала в приборах электронной техники 113
4.2. Использование пленки ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода в качестве электретного материала 119
4.2.1. Пленка ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода как активный элемент электроакустического преобразователя 119
4.2.2. Биологически активный электретный материал - пленка ПЭТФ с наноразмерным покрытием на основе углерода 127
4.3. Выводы по главе 4 130
Заключение 131
Список литературы 134
Приложения 154
