Введение
Глава 1. Вакуумные системы современного технологического и физико-аналитического оборудования электронной техники на основе турбомолекулярных насосов
1.1 Общая характеристика. 9
1.2 Вакуумно-термическая обработка приборов вакуумной электроники с использованием высоковакуумных турбомолекулярных насосов. 10
1.3 Оборудование ионной имплантации. 13
1.4 Оборудование для осаждения плёнок из сепарированных ионных потоков . 16
1.5 Оборудование для осаждения плёнок методом ионного распыления. 17
1.6 Физико-аналитическое оборудование электронной техники. 19
1.7 Магистрально-модульный комплекс сверхвысоковакуумной лучевой технологии. 21
1.8 Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель на основе турбомолекулярного насоса. 22
Выводы по главе 1. 25
Глава 2. Анализ работ по исследованиям и разработке турбомолекулярных насосов
.2.1 Обзор теоретических и прикладных вопросов создания турбомолекулярных насосов. 26
2.2 Классификация турбомолекулярных насосов по конструктивному выполнению их основных узлов . 49
2.3 Ступени турбомолекулярных насосов. 52
2.4 Возникновение откачивающего действия у движущихся и неподвижных наклонных каналов ступеней турбомолекулярных насосов. 55
2.5 Оценка прочности роторных ступеней турбомолекулярных насосов. 58
2.6 Обсуждение работ по теоретическим и прикладным вопросам создания турбомолекулярных насосов. 68
Выводы по главе 2. 70
Глава 3. Вопросы теории, расчёта и конструирования турбомолекулярных насосов
3.1 Графоаналитическая модель переноса молекул газа через каналы, роторной ступени турбомолекулярного насоса. 71
3.2 Метод расчёта вакуумных характеристик проточной части ТМН без учёта потоков газовыделений с её рабочих поверхностей. 79
3.3 Анализ закономерностей процесса откачки газа турбомолекулярным насосом. 86
3.4 Быстрота действия ТМН по смеси газов. 96
Выводы по главе 3. 98
Глава 4. Расчёт проточной части ТМН.4.1 Принцип оптимизации вакуумных параметров ТМН . 99
4.2 Методика расчёта оптимальной проточной части ТМН. 103
4.3 Исследование вакуумных характеристик ТМН для различных условий работы . 111
Выводы по главе 4. 123
Глава 5. Экспериментальные исследования турбомолекулярныхвысоковакуумных насосов
5.1. Становление и развитие методов экспериментальных исследований 124
5.2 Методика испытаний вакуумных характеристик ТМН. 134
5.3 Экспериментальное оборудование. Результаты испытаний. 139
5.4 Оценка точности и воспроизводимости измеренных величин. 152
5.5 Получение безмасляного вакуума при помощи ТМН, имеющего масляные опоры вращения роторных ступеней, и масляный форвакуумний насос. 155
Выводы по главе 5. 164
Заключение. 165
Список литературы. 167
