Введение
Глава 1. Формирование остаточной газовой среды в современномоборудовании высоких вакуумных технологий 11
1.1 .Технологические требования к составу остаточной газовой средыбазовых технологических процессов электронной техники 11
1.2. Методы создания оптимальных вакуумных систем оборудования 15
1.3. Пути развития безмасляных форвакуумных насосов вотечественной и мировой практике 23
Выводы 50
Глава 2. Создание безмасляных форвакуумных насосов на основевысокочувствительных сварных сильфонов и мембран 52
2.1. Опыт использования сильфонов в качестве герметичной рабочей 52
2.2. Анализ функциональных схем двухступенчатых безмасляныхфорвакуумных насосов на основе высокочувствительных мембран исильфонов 60
2.2.1. Мембранные форвакуумные насосы 61
2.2.2. Сильфонно-поршневые двух- и трехступенчатые насосы 64
2.2.3. Сильфонные насосы линейной и коаксиальной структуры
2.3. Анализ конструкций сильфонно-поршневых и сильфонныхдвухступенчатых безмасляных форвакуумных насосов 73
2.3.1. Сильфонно-поршневые двухступенчатые насосы 73
2.3.2. Двухступенчатые сильфонные форвакуумные насосы линейной 79
2.4. Особенности расчета быстроты действия сильфонно-поршневых и 84
Выводы
Глава 3. Метод расчета проводимости элементов вакуумной системы произвольной формы
3.1. Общие положения
3.2. Алгоритм метода пробной частицы
3.3. Исследования процессов столкновения молекул между собой и с поверхностями элементов вакуумной системы
3.4. Расчет проводимости канала сложной формы с изменяющимися геометрическими размерами
Выводы
Глава 4. Теоретические исследования откачныж характеристик двухступенчатых форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных складывающихся сильфонов
4.1. Анализ геометрических параметров сильфонов, образующих рабочую полость переменного объема форвакуумных насосов
4.2. Анализ геометрических параметров второй ступени сильфонно-поршневых насосов
4.3. Исследования откачных характеристик параметрического ряда двухступенчатых сильфонно-поршневых и сильфонных двухкамерных форвакуумных насосов
Выводы
Глава 5. Экспериментальные исследования основных эксплуатационных характеристик безмасляных форвакуумных насосов на основе сварных высокочувствительных складываю щихся сильфонов и перспективы развития
5.1. Цели и задачи экспериментальных исследований
5.2. Экспериментальное исследование откачных характеристик сильфонно-поршневых и сильфонных форвакуумных насосов
5.2.1. Методика экспериментальных исследований
5.3. Экспериментальное исследование структуры покрытия и характера износа контактной поверхности поршня второй ступени сильфонно-поршневого насоса методом сканирующей зондовой микроскопии
5.3.1. Обоснование метода исследований
5.4. Экспериментальная оценка ресурса сильфонных камер форвакуумных насосов с использованием метода рентгеновской дифрактометрии
5.4.1. Экспериментальная установка.
5.4.2. Методика экспериментальных исследований.
5.4.3. Расчет ресурса с использованием метода оценки остаточных напряжений
5.5. Перспективные разработки сильфонно-поршневых и сильфонных двухступенчатых форвакуумных насосов с «охранным» вакуумом
Выводы
Заключение
Литература.
