Научное и технологическое обеспечение нанесения упрочняющих наноразмерных тонкопленочных покрытий для изделий электронной техники
Осипов Александр Владимирович. Научное и технологическое обеспечение нанесения упрочняющих наноразмерных тонкопленочных покрытий для изделий электронной техники : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2004 189 c. РГБ ОД, 61:05-5/968