Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера
Колесник Леонид Леонидович. Повышение однородности состава и равномерности толщины многослойных тонкопленочных покрытий на поверхностях большого размера : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Колесник Леонид Леонидович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2009.- 143 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/227
