Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий
Капустин Евгений Николаевич. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационных характеристик промышленного оборудования тонкопленочных технологий : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2003.- 185 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2594-8
