Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства
Самойликов Роман Вячеславович. Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2004.- 192 с.: ил. РГБ ОД, 61 05-5/2512