Введение
Глава I. Термодоноры в монокристаллах кремния.(Обзор литературы)
1.1 .Термодоноры, образующиеся в монокристаллах кремния при отжиге в интервале температур 45О-550С
1.1.1.Двойные термодоноры в монокристаллах кремния 11
1.1.2. Однозарядный мелкий термодонор 18
1.1.3.Влияние предварительной термообработки на генерацию кислородных термодоноров 18
1.1 АВлияние примеси углерода на образование двойных термодоноров 21
1.2.Модели образования двойных термодоноров 23
І.З.Диффузия атомов кислорода в кремнии 28
1.4.Влияние примеси азота на образование термодоноров 30
1.5.Термодоноры, образующиеся в монокристаллах кремния при температурах отжига выше 600С 33
1.6.Постановка задачи исследования 36
Глава II. Методика эксперимента Введение 38
2,1,Определение концентраций основных и компенсирующих электрически активных центров в легированных монокристаллах кремния 2.1.1.Эффект Холла 38
2Л.2. Определение удельного сопротивления и холловской подвижности основных носителей заряда 41
2.1.3.Метод измерения эффекта Холла 41
2.1.4.Определение ошибки расчета концентрации основных и компенсирующих центров 43
2.2.Термическая обработка образцов 47
2.3.Определение концентраций межузельных атомов кислорода, углерода и азота в исследуемых образцах 49
2.4 Изучение картины распределения ростовых микродефектов в пластинах кремния методом медного декорирования 49
Глава III. Влияние условий термообработки, собственных точечных дефектов и атомов бора на генерацию кислородных термодоноров в пластинах кремния
Введение 53
3.1.Влияние собственных межузельных атомов кремния на генерацию кислородных термодоноров в пластинах кремния
3.1 1 . Выбор условий эксперимента и параметров исследуемых образцов 53
3.1.2.Влияние условий термообработки на генерацию кислородных термодоноров в пластинах кремния во время отжига 520С 55
3.1.3.Влияние толщины образца на генерацию кислородных термодоноров о время отжига при 400-520С 64
ЗЛАОбсуждение результатов эксперимента 78
3.1.5.Некоторые особенности изменение энергии ионизации глубокого уровня двойных термодоноров со временем отжига 520С 90
3.2.Особенности генерации кислородных термодоноров в монокристаллах кремнии с
повышенной концентрацией атомов бора 93
3.3.0 возможном "старении" при комнатной температуре образцов,
прошедших "высокотемпературный" отжиг при 650С и 900С 113
ЗАВмводы 122
Глава IV. Влияние азота на генерацию термодоноров в кремнии при отжиге в интервале температур 400-800С
Введение 124
4.1.Отжиг в интервале температур 400-800С 124
4.2- Влияние атомов азота на генерацию кислородных термодоноров в процессах отжига при температурах 400-520С 127
4.3. О возможном составе мелкого однозарядного термодонора, образующегося при температурах отжига 60О-800С
в монокристаллах кремния, легированных азотом 142
4.4.Выводы 150
Заключение 152
Приложение 155
Список литературы
