Введение
1. Методология молекулярно-динамического подхода при моделировании осаждения нанослоев из газовой фазы 23
1.1 Физико-математическая модель осаждения атомов металла на металлическую подложку 23
1.2 Потенциал взаимодействия 25
1.3 Моделирование граничных условий 27
1.4 Моделирование начальных условий атомов газовой фазы 30
1.5 Моделирование изотермических процессов 35
1.6 Моделирование процессов при постоянных значениях компонент тензора напряжений 52
1.7 Численная схема для расчета траекторий 64
1.8 Формирование начального состояния подложки 77
2. Формирование тонких пленок меди на медных подложках 82
2.1 Численное исследование рассеяния атомов металла на металлической подложке 82
2.2 Влияние температуры на процесс формирования тонких пленок 101
2.3 Влияние дефектов подложки на формирование поверхностных структур 120
3. Формирование серебряных нанопленок на медных подложках 131
3.1 Статические исследование границ раздела гетероструктур Ag/Cu(l 11) 131
3.2 Влияние температуры подложки на формирование структур Ag/Cu(l 11) 145
Основные результаты и выводы 161
Литература
