Молекулярно-пучковая эпитаксия из сублимационного источника слоев кремния и гетероструктур SiGe/Si на сапфире
Денисов, Сергей Александрович. Молекулярно-пучковая эпитаксия из сублимационного источника слоев кремния и гетероструктур SiGe/Si на сапфире : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Денисов Сергей Александрович; [Место защиты: Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского].- Нижний Новгород, 2012.- 154 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/1225
