Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики
Мяконьких Андрей Валерьевич. Мониторинг плазмохимических процессов формирования микро- и наноструктур методами зондовой диагностики : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Мяконьких Андрей Валерьевич; [Место защиты: Физ.-технол. ин-т РАН].- Москва, 2009.- 125 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/36
