Введение
1. Анализ современного состояния проектирования и технологии тонкопленочных микросборок 13
2. Исследование влияния конструктивно-технологических факторов на сопротивление тонкопленочного резистора 41
3. Разработка методов повышения качества тонкопленочной микросборки 79
4. Разработка конструктивно-технологических вариантов многоуровневых плат 110
5. Разработка методов проектирования тонкопленочной микросборки 139
6. Применение методов и алгоритмов проектирования в конструкциях микросборок датчиков первичной информации 172
Выводы 192
Заключение 194
Перечень принятых сокращений 196
Перечень принятых условных обозначений 197
Список литературы 199
Приложения. Сведения о внедрении результатов диссертационной работы 215
