Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии
Князев Максим Александрович. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Князев Максим Александрович; [Место защиты: Ин-т проблем технол. микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2007.- 120 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/7