Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии

Князев Максим Александрович. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Князев Максим Александрович; [Место защиты: Ин-т проблем технол. микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2007.- 120 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/7
Автор
Князев Максим Александрович
Год
2007
  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

99 000 UZS
Автор
Кривошеева Александра Николаевна
Количество страниц
Год
2007
99 000 UZS
Автор
Москалев Вячеслав Юрьевич
Количество страниц
Год
2007
99 000 UZS
Автор
Осадчий Евгений Николаевич
Количество страниц
Год
2007
99 000 UZS
Автор
Плешков Алексей Петрович
Количество страниц
Год
2007
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3