Пассивные и активные мембраны для устройств микросистемной техники
Кривошеева Александра Николаевна. Пассивные и активные мембраны для устройств микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Кривошеева Александра Николаевна; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2007.- 150 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/5221