Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов на основе силицидов диэлектриков с высоким Е, полученным методамимагнетронного распыления и электронно- лучевого испарения
Рогожин Александр Евгеньевич. Свойства многослойных затворных структур МОП нанотранзисторов на основе силицидов диэлектриков с высоким Е, полученным методамимагнетронного распыления и электронно- лучевого испарения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рогожин Александр Евгеньевич; [Место защиты: Физико-технологический институт РАН].- Москва, 2007.- 94 с.: ил.
