Введение
ГЛАВА 1. Самоорганизованные наноостровки и квантовые точки (литературный обзор) 13
1.1. Методы получения квантовых точек 15
1.2. Фотодетекторы инфракрасного диапазона на квантовых точках 18
1.3. Методы диагностики квантовых точек 37
1.4. Заключение 40
ГЛАВА 2. Рентгенодифракционное исследование структур с упругонапряженными наноостровками и квантовыми точками 41
2.1. Рентгенооптическая схема дифрактометра 43
2.2. Оптимизация схемы для структур с наноостровками 45
2.3. Экспериментальное определение упругих напряжений и состава наноостровков InGaAs/GaAs и GeSi/Si 46
2.4. Исследование влияния условий формирования наноостровков на их состав и упругие напряжения 58
2.5. Заключение 61
ГЛАВА 3. Электронный транспорт и инфракрасная фотопроводимость многослойных гетероструктур ingaas/gaas с квантовыми точками 65
3.1. Технология изготовления многослойных гетероструктур InGaAs/GaAs с квантовыми точками 66
3.2. Методики диагностики параметров гетероструктур 67
3.3. Температурная зависимость продольной инфракрасной фотопроводимости в гетероструктурах с квантовыми точками 75
3.4. Эффекты электронного транспорта в инфракрасной фотопроводимости структур InGaAs/GaAs с квантовыми точками 77
3.5. Заключение 83
ГЛАВА 4. Оптимизация гетероструктур для фотоприёмников инфракрасного диапазона 84
4.1. Сэндвич-структура с квантовыми точками для фотоприемников инфракрасного диапазона 85
4.2. Продольная инфракрасная фотопроводимость в нелегированных гетероструктурах с квантовыми точками 103
4.3. Определение параметров фото детекторов: вертикальная фотопроводимость в диапазоне 4-6 мкм 105
4.4. Межзонная фотопроводимость в диапазоне 1.2-1.7 мкм 111
4.5. Заключение 113
Заключение 115
Список условных сокращений 117
Список цитированной литературы
