Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей
Ильков Андрей Владимирович. Конструктивно-технологический базис микроэлектромеханических систем для диафрагменных электроакустических преобразователей : диссертация... кандидата технических наук : 05.27.01 Москва, 2007 128 с. РГБ ОД, 61:07-5/2385