Наноразмерные структуры Si/SiO2 и сенсоры на их основе
Наумова, Ольга Викторовна. Наноразмерные структуры Si/SiO2 и сенсоры на их основе : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10 / Наумова Ольга Викторовна; [Место защиты: Ин-т физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН].- Новосибирск, 2012.- 323 с.: ил. РГБ ОД, 71 13-1/277