Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки
Мустафаев, Арслан Гасанович. Научные основы и практические аспекты разработки технологии создания тонких полупроводниковых слоев кремния на изолирующих подложках применением процессов ионной обработки : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Мустафаев Арслан Гасанович; [Место защиты: ГОУВПО "Южно-Российский государственный технический университет"].- Новочеркасск, 2011.- 278 с.: ил.
