Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем
Серегин, Дмитрий Сергеевич. Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Серегин Дмитрий Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики].- Москва, 2011.- 151 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1575