Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения
Русанов Антон Викторович. Повышение качества технологической среды сверхвысоковакуумного оборудования с алмазоподобными покрытиями трибологического назначения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Русанов Антон Викторович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2009.- 159 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/3523
