Введение
Глава 1 Пути направленного изменения свойств при термической обработке кремния ...8
1.1 Возможность управления деградацией электрофизических и физико - химических свойств кремния 8
1.2 Полиморфные превращения в кремнии 15
1.3 Влияние примесей на свойства кремния 25
1.3.1 Свойства кремния, легированного редкоземельными элементами 25
1.3.1.1 Влияние примесей редкоземельных элементов на электрофизические параметры кремния 25
1.3.1.2 Влияние РЗЭ на процессы радиационного дефектообразования кремния 27
1.3.1.3 Термическая стабильность кремния, легированного РЗЭ 30
1.3.2 Свойства кремния, легированного натрием 33
1.3.3 Поведение примеси золота в кремнии 38
1.4 Применение геттерирования в кремнии 42
1.5 Выводы 47
Глава 2 Методики эксперимента и расчета 48
2.1 Методика исследования электропроводности и эффекта Холла полупроводников при температурах от комнатных до 1600К 48
2.2 Методические аспекты измерения гальваномагнитных эффектов в высокоомном кремнии 54
2.2.1 Измерительные образцы 55
2.2.2 Схема компьютерной системы измерения 57
2.2.3 Исходные расчетные формулы 60
2.3 Проявление неоднородностей кристаллов 62
2.4 Методика определения параметров дефектов и примесей, создающих в запрещенной зоне полупроводников глубокие уровни (DLTS) 66
2.5 Методики исследования структурных дефектов 69
2.6 Определение параметров распада пересыщенных твердых растворов на основе кремния 71
Глава 3 Влияние термообработки на электрофизические свойства кремния 74
3.1 Исследование параметров электронного переноса в кремнии 74
3.2 Электрофизические свойства монокристаллов кремния в широком интервале температур 83
3.2.1 Эффект Холла 83
3.2.2 Глубокие уровни в кремнии 89
3.3 Термообработка кремния . 91
3.4 Выводы 106
Глава 4 Радиационная и термическая стойкость кремния 108
4.1 Выбор легирующих добавок, определенных на основе системы неполяризованных
ионных радиусов (СНИР) 108
4.2 Влияние термической обработки на структуру и свойства легированного монокристаллического кремния 115
4.2.1 Кремний, полученный методом Чохральского 115
4.2.2 Кремний БЗП 140
4.3 Ионное легирование кремния примесями, определенными на основе системы неполяризованных ионных радиусов (СНИР) 148
4.4 Кинетика распада твердых растворов на основе кремния 153
4.4.1 Кремний - алюминий 154
4.4.2 Кремний - натрий, кремний - вольфрам - натрий 159
4.4.3 Кремний - гадолиний - золото 163
4.4.4 Кремний - германий - марганец 165
4.5 Выводы 168
Глава 5 Получение приборов на основе кремния 171
5.1 Разработка способов термической обработки подложек кремния для изготовления транзисторов 171
5.2 Разработка прецизионных стабилитронов на основе радиационностойкого кремния. 182
5.3 Выводы 195
Заключение 196
Список использованных источников 200
Приложение 211
