Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве

Овчинников Вячеслав Алексеевич. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2009.- 242 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/13