Введение
Глава 1. Низкочастотный шум в поликристаллических полупроводниках .
1.1 Металлоксидные газочувствительные структуры 10
1.2 Структура маталлокисных поликристаллических пленок 11
1.3 Низкочастотный шум в полупроводниках 13
1.4 Экспериментальные данные по измерению низкочастотного шума в полупроводниках 14
1.5 Эмпирическое обобщение экспериментальных данных 23
1.6 Физические модели НЧ шума 28
Глава 2. Измерительная установка и методика эксперимента
2.1 Общее описание лабораторной установки 35
2.2 Методика приготовления газовой смеси 38
2.3 Конструкция блока измерения шумов 40
2.4 Методика проведения шумовых измерений 47
2.3.1 Общие положения 47
2.3.2 Расчет спектральной плотности мощности шума 49
2.33 Оценка погрешности измерений 51
2.5 Изготовление газочувствительных слоев 53
2.6 Конструкция измерительной ячейки 55
2.7 Методика исследования сенсорных характеристик ГЧС 56
2.8 Выбор напряжения смещения 57
2.9 Подготовка образцов к шумовым измерениям 58
2.10 Методика исследования влияния хемосорбции на спектральные характеристики шума ГЧС 60
2.11 Методика исследования влияния хемосорбции на статистические характеристики шума ГЧС 61
2.12 Методика исследования релаксации шума 62
2.13 Методика исследования деградации сенсора 63
Глава 3. Экспериментальные данные
3.1 Влияние легирования на шумы ГЧС 66
3.1.1 Влияние легирования на спектральные характеристики шума 65
3.1.2 Влияние легирования на статистические характеристики шума 67
3.2 Исследование релаксации шума ГЧС на основе Sn02-Pd(2.5%)-Pt(0.5%) 70
3.3 Исследование шумовых и сенсорных характеристик золь-гельных ГЧС 75
3.3.1 Шум золь-гельных ГЧС в эквирезистивных условиях 75
3.3.2 Шум золь-гельных ГЧС в разных газовых средах 76
3.4 Исследование спектральных и статистических характеристик шума ГЧС на основе SnO2-Pd(2.5%)-Pt(0.5%) 79
3.4.1 Спектральные характеристики шума в эквирезистивных условиях 78
3.4.2 Статистические характеристики шума в эквирезистивных условиях 82
3.4.3 Температурная зависимость шума в нейтральной среде 83
3.4.4 Температурная зависимость шума в воздушной атмосфере 85
3.4.5 Температурные зависимости шум ГЧС в присутствии активных газов 87
3.4.6 Зависимости шума ГЧС от концентрации активных газов 89
3.5 Генерация автоколебаний в ГЧС на основе Sn02-Pd(2.5%)-Pt(0.5%) 92
3.6 Повышение селективности ГЧС шумовыми измерениями 94
3.7 Деградационные процессы в газовых сенсорах 96
3.7.1 Шумы в условиях ускоренной термической деградации 96
3.7.2 Шумы при деградации, вызванной высокой концентрацией активного газа 97
3.7.3 Шумы при деградации, вызванной протеканием автоколебательного процесса 99
Глава 4. Обсуждение результатов
4.1 Модификация поверхности 101
4.2 Релаксации шума 102
4.3 Влияние хемосорбции на спектральные и статистические характеристики шума 106
4.4 Модель автоколебательных процессов 110
4.5 Гауссовость и стационарность 124
4.6 Деградация ГЧС 125
4.6.1 Области деградации 125
4.6.2 Термическая деградация 127
4.6.3 Деградация ГЧС при высокой концентрации активного газа 129
4.6.4 Деградация вследствие протекания автоколебательного процесса 130
Выводы 132
Список литературы 134
