Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники
Песков, Вадим Вячеславович. Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04 / Песков Вадим Вячеславович; [Место защиты: Ин-т радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН].- Фрязино, 2012.- 121 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-1/558
