Введение
1 Анализ требований современного автоматизированного оборудования электронной техники к парам сухого трения 8
1.1 Анализ противоречий между требованиями, предъявляемыми к надежности функционирования и параметрической к надежности вакуумного привода 8
1.1.1 Анализ требований к механизмам сухого трения, работающим в вакууме и контролируемых средах 8
1.1.2 Анализ механизмов, использующих пары сухого трения 26
1.1.3 Анализ противоречий между требованиями, предъявляемыми к вакуумному приводу 33
1.2 Вопросы повышения производительности автоматизированного оборудования электронной техники 34
1.2.1 Анализ влияния надежности на производительность технологического оборудования электронной техники 34
1.2.2 Регулирование надежности функционирования 38
1.2.3 Регулирование параметрической надежности 42
1.3 Теоретические предпосылки регулирования долговечности и надежности приводов автоматизированного оборудования электронной техники 44
1.4 Анализ существующей теории трения 50
Выводы к Главе 1 61
2 Теоретические аспекты сухого трения 63
2.1 Физические основы теории сухого трения 63
2.2 Анализ трения в различных диапазонах покрытия 68
2.2.1 Вязкостная составляющая силы трения 69
2.2.2 Капиллярная составляющая силы трения 70
2.2.3 Адгезионно-вязкостное трение 74
2.2.4 Адгезионное трение 78
2.2.5 Когезионное трение 81
Выводы к Главе 2 87
3 Экспериментальное исследование сухого трения 89
3.1 Методика исследования 89
3.2 Экспериментальное оборудование 94
3.3 Экспериментальные исследования коэффициента трения покоя как функции давления 105
3.3.1 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере воздуха 105
3.3.2 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере азота 111
3.3.3 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере кислорода 113
3.3.4 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере паров воды 117
3.3.5 Зависимость коэффициента трения покоя от числа циклов скольжения 117
3.3.6 Зависимость коэффициента трения покоя от температуры 120
Выводы к Главе 3 127
4 Практическое использование результатов работы 129
4.1 Методика расчета коэффициента «сухого» трения при различных степенях вакуума 129
4.2 Методика расчета потока внезапных отказов механизмов автоматизированного оборудования 130
4.3 Фрикционный вакуумметр 138
Выводы к Главе 4 142
Общие выводы 143
Литература 146
