Введение
Глава 1. Обзор литературы 9
1.1. Методы легирования кремния РЗЭ 9
1.1.1. Ионная имплантация 9
1.1.2. Твердофазная эпитаксия 11
1.1.3. Молекулярно лучевая эпитаксия 12
1.1.4. Диффузия 13
1.2. Образование донорных центров в слоях кремния имплантированных ионами редкоземельных элементов
Глава 2. Методики эксперимента 23
2.1. Определение глубины залегания р-n перехода 23
2.2. Определение профиля распределения концентрации носителей заряда методом вольт - фарадных характеристик
2.3. Измерение слоевого сопротивления. Расчет коэффициента активации донорных центров
2.4. Определение профиля распределения концентрации носителей заряда по глубине методом дифференциальной проводимости
2.5. Определение распределения концентрации носителей заряда и 29
подвижности по глубине с помощью измерения эффекта Холла с последовательным стравливанием слоев
2.6. Определение профиля распределения примеси по глубине методом вторичной ионной масс-спектроскопии
Глава 3. Образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами рзэ диспрозия, гольмия и иттербия .
3.1. Подготовка образцов 34
3.2. Образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами диспрозия
3.3. Образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами гольмия
3.4. Образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами иттербия
3.5. Обсуждение результатов 47
3 .б.Выводы 50
Глава 4. Влияние имплантации ионов электрически неактивных примесей на образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами эрбия
4.1. Влияние имплантации ионов кислорода на образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами эрбия
4.2. Влияние аморфизации на образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами эрбия и кислорода
4.3. Влияние имплантации ионов электрически неактивных примесей на образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами эрбия
4.4. Зависимость подвижности носителей заряда от концентрации донорных 71
центров в слоях кремния, имплантированных ионами РЗЭ эрбия и иттербия
4.5. Выводы 76
Глава 5. Моделирование образования донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами эрбия и кислорода
5.1. Численные методы решения диффузионно-кинетических уравнений 78
5.1.1. Примеры разностных аппроксимаций 78
5.1.2. Численные методы решения дифференциальных уравнений первого порядка
5.1.3. Численные методы решения уравнения диффузии 82
5.2. Модель образования донорных центров в слоях кремния, 86
имплантированных ионами РЗЭ эрбия
5.2.1. Описание модели 86
5.2.2. Влияние параметров модели на решение 88
5.2.3. Результаты расчета 90
5.3. Модель образования донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами эрбия и кислорода
5.3.1. Описание модели 97
5.3.2. Результаты расчёта 101
5.4. Выводы 108
Выводы 109
Список работ, опубликованных по теме диссертации 111
Список литературы
