Введение
1. Литературный обзор 10
1.1. Гетероструктуры с квантовыми точками 10
1.1.1. Получение гетероструктур с квантовыми точками 10
1.1.2. Самоорганизация квантовых точек 11
1.1.3 Основные свойства гетероструктур с квантовыми точками 16
1.1.4. Применение гетероструктур с квантовыми точками 17
1.1.5. Устройства памяти на основе квантовых точек 18
1.1.6. Методы исследования гетероструктур с квантовыми точками... 20
1.2. Физические основы емкостных методов исследования 21
1.3. Динамика носителей заряда в полупроводниках 28
1.4. Методика емкостных переходных процессов 31
1.5. Нестационарная емкостная спектроскопия глубоких уровней... 38
1.5.1. Модификации метода DLTS 43
1.6. Емкостные методы при исследовании квантоворазмерных гетероструктур 46
2. Вольт-фарадные измерения гетероструктур с квантовыми точками 51
2.1. Образцы с тремя слоями вертикально связанных квантовых точек 51
2.2. Образцы с массивом квантовых точек с предельно низкой концентрацией легирующей примеси 54
2.3. Описание экспериментальной установки 57
2.4. Экспериментальные вольт-фарадные характеристики гетероструктур с массивом квантовых точек 59
2.5. Профили концентрации носителей заряда в гетероструктурах с массивом квантовых точек
Оценка величины заряда, накопленного в массиве квантовых точек 68
Нестационарная емкостная спектроскопия гетеро структур с квантовыми точками 73
Экспериментальные спектры DLTS гетероструктур с квантовыми точками InAs/GaAs 73
Механизмы эмиссии носителей заряда из массива квантовых точек во внешнем электрическом поле 76
Оценка уширения экспериментальных спектров DLTS гетероструктур с массивом квантовых точек 85
Определение функции плотности состояний гетероструктуры с массивом самоорганизованных квантовых точек 88
Селективная нестационарная емкостная спектроскопия квантовых точек 94
Исследование динамики захвата носителей заряда в массив самоорганизованных квантовых точек 102
Прямое наблюдение процессов захвата носителей заряда в массив квантовых точек 102
Метод нестационарной емкостной спектроскопии захвата 107
Сечение захвата массива квантовых точек 118
Оценка скорости захвата носителей заряда в отдельную квантовую точку InAs/GaAs 119
Заключение 123
Список литературы
