Оптические и электрофизические свойства тонких нанострктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления
Воронов Павел Евгеньевич. Оптические и электрофизические свойства тонких нанострктурных пленок Sn-O-In, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Воронов Павел Евгеньевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т].- Ставрополь, 2009.- 126 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/2545
