Введение
1. Метод дифференциальной отражательной спектроскопии. Поверхностные фазы и силициды в системах In/Si(lll), Fe/Si(lll) и 0/Si(lll) 11
1.1. Дифференциальная отражательная спектроскопия: история развития, основные методы и перспективы 11
1.2. CHcreMaIn/Si(lll) 17
1.3.CHCTeMaFe/Si(lll) 23
1.4.CHCreMaCr/Si(lll) 29
Выводы 32
2. Методы исследований и подготовка экспериментов 34
2.1.Методы исследований 34
2.1.1. Дифракция медленных электронов 34
2.1.2. Сканирующая туннельная микроскопия 37
2.1.3. Атомная силовая микроскопия 40
2.2.Экспериментальное оборудование 44
2,3. Под готовка образцов 46
2.3.1. Подготовка образцов и получение атомарно-чистой поверхности кремния (111) 46
2.3.2. Методики формирования поверхностных фаз In и тонких пленок силицидов Fe и Сг и исследования их роста методом ДОС 47
3. Разработка методов расчета оптических функций из ДОС-экспериментов 52
3.1. Особенности обработки данных ДОС-экспериментов, проведенных с использованием неполяризованного света 52
3.2, Метод динамического эталона 54
3.3.Метод восстановленного эталона 69
3.4. Метод построения фазовых диаграмм с помощью ДОС 77
4. Оптические свойства «магических» кластеров In и Сг, поверхностных фаз In, сверхтонких и тонких пленок силицидов Fe и Сг на Si(lll) 82
4.1.Оптические свойства поверхностных фаз и «магических» кластеров In на Si(l 11) 85
4.2. Оптические свойства тонких пленок силицидов Fe на Si(l 11) 119
4.3. Оптические свойства «магических» кластеров Сг, тонких и сверхтонких пленок силицидов Сг на Si(l 11) 138
Заключение 154
Список литературы 157
