Введение
Глава 1 - Аналитический обзор оптических методов контроля линейных микроперемещений 9
1.1 Оптические методы контроля линейных микроперемещений 9
1.1.1 Методы контроля линейных микроперемещений, основанные на принципах геометрической оптики 10
1.1.2 Интерференционные методы контроля линейных микроперемещений 14
1.1.3 Растровые методы контроля линейных микроперемещений 16
1.2 Принципы построения цветных видеокамер на основе ПЗС 21
1.3 Апертурная характеристика фоточувствительного элемента 24
Глава 2 — Теоретические исследования относительной спектральной и апертурной характеристик цветного фоточувствительного элемента 30
2.1 Теоретическое исследование относительной спектральной характеристики цветного фоточувствительного элемента 30
2.2 Теоретическое исследование апертурной характеристики цветного фоточувств ителыюго элемента 34
2.3 Теоретическая оценка апертурных характеристик цветных фото чувствительных элементов 43
Глава 3 - Экспериментальные исследования относительной спектральной и апертурной характеристик цветного фото чувствительного элемента 51
3.1 Экспериментальные исследования относительной спектральной характеристики цветного фоточувствительного элемента 51
3.2 Экспериментальные исследования апертурных характеристик цветных фотрчувствительных элементов 55
3.3 Методика определения организации цветных фоточувствительных элементов видеокамеры 74
Глава 4 - Разработка оптического метода контроля линейных микроперемещений с помощью цветной видеокамеры при нониусном сопряжении растров 77
4.1 Применение апертурной характеристики цветного фоточувствительного элемента для контроля перемещений 77
4.2 Методы коррекции сигнала, поступающего с цветной видеокамеры 80
4.3 Оптический метод контроля линейных микроперемещений с помощью цветной видеокамеры при нониусном сопряжении растров 82
4.4 Практическая реализация оптического метода контроля линейных микроперемещений с помощью цветной видеокамеры на больших расстояниях до объектива при нониусном сопряжении растров 85
4.5 Оценка погрешности оптического метода контроля линейных микроперемещений с помощью цветной видеокамеры при нониусном сопряжении растров 91
Заключение 95
Список литературы. 97
Приложения 106
