Введение
Глава 1. Методы анализа результатов выборочного контроля 11
1.1. Применение математико-статистических и информационных методов для контроля и управления качеством изделий 11
1.2 Стратификация тиража изделий как метод оценки точности и стабильности технологических операций 21
1.3. Определение точности и стабильности технологического процесса по тиражу, партии и пластине 28
1.4. Модифицированный метод случайного баланса 32
1.5. Метод наименьших квадратов с предварительной ортогонализацией факторов 38
1.6. Задача построения эффективного контроля качества изделий 43
Глава 2. Математические модели контроля технологического процесса изготовления кристаллов ИМС 48
2.1. Построение и первичная обработка таблицы исходных данных 48
2.2. Определение максимального списка контролируемых параметров 57
2.3. Построение математических моделей технологического процесса 62
2.4. Анализ точности и стабильности технологического процесса 68
Глава 3. Анализ сезонных изменений технологического процесса 75
3.1. Параметрический анализ динамики процента выхода годных 75
3.2. Анализ точности и стабильности технологического процесса по сезонам 82
3.3. Выявление влияния непараметрических составляющих на средний процент выхода годных изделий 85
Глава 4. Экспериментальная проверка моделей, выводов и рекомендаций 92
4.1. Оргтехмероприятия и корректировка норм контролепригодных параметров 92
4.2. Результаты изготовления опытных партий 94
4.3. Стратификация некоторых выходных параметров 96
4.4. Технико-экономическая оценка полученных результатов 102
Заключение 108
Список использованных источников 111
Приложение 116
