Введение
1 Проблема статистического управления технологическими процессами изготовления микроэлектрон ных узлов приборов 12
1.1 Статистическое управление технологическими процессами как средство управления качеством 12
1.2 Организационно-технические особенности технологических операций изготовления микроэлектронных узлов 21
1.3 Анализ современного состояния проблемы статистического управления технологическими процессами изготовления микроэлектронных узлов 24
Выводы по главе 1 28
2 Вероятностно-временные модели типовых технологических процессов изготовления резистивных структур ...30
2.1 Организационно-технические особенности статистического управления типовыми технологическими процессами 30
2.1.1 Процесс получения поликремниевых резистивных слоев 30
2.1.2 Процесс получения тонких резистивных пленок 32
2.1.3 Процесс формирования толстопленочных резисторов 34
2.2 Статистический анализ типовых технологических процессов 36
2.2.1 Задачи статистического анализа 36
2.2.2 Методы статистического анализа 37
2.2.3 Статистический анализ процесса получения поликремниевых резистивных слоев 42
2.2.4 Статистический анализ процесса получения тонких резистивных пленок 45
2.2.5 Статистический анализ процесса формирования толстопленочных резисторов 49
2.3 Вероятностно-временные модели типовых технологических процессов изготовления резистивных структур 53
Выводы по главе 2 S6
3 Расчет характеристик плана контроля технологических процессов по критерию уровня брака 59
ЗЛ Критерий эффективности статистического управления технологичес ким процессом по уровню брака за период между регулировками 59
3.2 Расчет характеристик плана контроля технологических процессов при использовании контрольных карт выборочных средних значений 61
3.2.1 Расчет характеристик плана контроля на основе традиционной вероятностно-временной модели процессов 61
3.2.2 Расчет характеристик плана контроля на основе предложенных вероятностно-временных моделей процессов 66
Выводы по главе 3 77
4 Расчет характеристик плана контроля технологических процессов по критерию стоимостных затрат 79
4.1 Основные задачи расчета характеристик плана контроля технологических процессов по критерию стоимостных затрат 80
4.2 Расчет стоимостных затрат, связанных со статистическим управлением 82
4.3 Расчет характеристик плана контроля технологических процессов при использовании контрольных карт выборочных средних значений 84
4.3.1 Расчет оптимальных характеристик плана контроля на основе предложенных вероятностно-временных моделей процессов 84
4.3.2 Анализ влияния технико-экономических параметров процессов на стоимостный выигрыш от оптимизации характеристик плана контроля 90
4.3.3 Расчет квазиоптимальных характеристик плана контроля при случайном характере разладок процессов 94
Выводы по главе 4 99
5 Статистическое управление типовыми технологическими процессами изготовления резистивных структур 101
5.1 Экспериментальная оценка средних длин серий выборок при статистическом управлении процессами с предложенными вероятностно-временными моделями 101
5.2 Статистическое управление технологическим процессом получения поликремниевых резистивных слоев 105
5.3 Статистическое управление технологическим процессом получения тонких резистивных пленок 119
5.4 Статистическое управление технологическим процессом формирования толстопленочных резисторов 126
В ыводы по главе 5 134
Заключение 136
Список литературы
