Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе
Мустафаев Абдулла Гасанович. Оптимизация технологии формирования элементов интегральной электроники с пониженной дефектностью на структурах кремний на изоляторе : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Нальчик, 2006 150 с. РГБ ОД, 61:07-5/849