Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин
Булатов Андрей Николаевич. Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 Москва, 2005 106 с. РГБ ОД, 61:06-5/485