Введение
Глава I. Осаждение алмазоподобных пленок и газификация различных форм углерода в низкотемпературной плазме 9
1.1. Особенности гетерогенных реакций в низкотемпературной плазме электрических разрядов 9
1.2. Аллотропные формы углерода 16
1.3. Алмазоподобный углерод 19
1.4. Методы осаждения алмазоподобного углерода 21
1.5. Осаждения из газовой фазы, активированной электрическимразрядом 29
1.6. Механизм роста а-С:Н при осаждении из плазмы 37
1.7. Взаимодействие углерода с плазмой электрического разряда в воздухе и водороде 42
Глава II. Осаждение пленок гидрогенизированного углерода 55
II. 1. Техника и методика эксперимента 56
II.2. Влияние параметров разряда на скорость роста и свойства алмазоподобных а-С:Н 62
II.3. Осаждение пленок алмазоподобного углерода в установке асимметричного емкостного разряда 76
II.4. Осаждение а-С:Н пленок из метана и смеси аргон-циклогексан на лавсане 86
Глава III. Газификация различных форм углерода в плазме положительного столба тлеющего разряда 104
1. Схема установки и техника эксперимента 104
2. Профиль концентрации атомов в плазме положительного столба тлеющего разряда 106
3. Рекомбинация атомов кислорода и водорода 112
4. Химическая активность низкотемпературной плазмы в отношении различных форм углерода 117
5. Взаимодействие нитрида бора с воздушной плазмой тлеющего разряда 125
Заключение 130
Выводы 132
Литература
